分極反転層を有するLiTaO_336°回転Y板におけるSHタイプ弾性表面波の温度特性の測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
以前我々は、分極反転層により、LiTaO_336°Y-X基板におけるSH弾性表面波の温度特性が改善されることを理論解析により示した。本論文では、プロトン交換と熱処理によりLiTaO_336°回転Y板表面に分極反転層を形成した場合について、SH表面波の位相速度、実効的電気機械結合係数、及び遅延時間温度係数の測定結果について報告し、理論的に予想されたように遅延時間温度係数が12.6ppm, ℃に改善されることを示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-22
著者
関連論文
- 圧電セラミック円柱形振動ジャイロの振動モード解析
- 1-PI-4 振動ジャイロスコープの等価機械回路に関する一考察(1-P.ポスターセッション(概要講演))
- LiNbO_3回転変位アクチュエータを用いた波長可変光フィルタ
- 重み付けIDTの導波モードを考慮したCOM等価回路
- PD12 弾性表面波速度測定用拡散ビーム超音波トランスジューサの最適構成条件に関する理論的検討(ポスターセッション概要講演)
- 複合圧電材を用いた面積重み付けコニカル形超音波トランスジューサ
- SAW 周期構造のモード結合理論
- PB11 ZnO/LiNbO_3構造における弾性表面波の伝搬特性(ポスターセッションB)
- 超音波振動子の加圧接触による固体表面の微小変形
- 1PD-2 分極反転層を有するLiTaO_3回転Y板のSHタイプ弾性表面波(弾性表面波,ポスターセッション(概要講演))
- D-5 強誘電体反転分域境界における弾性波の反射と透過(ポスターセッション)
- 東北大学電気・情報系における音響教育 (<小特集>音響の教育(その2):展望と課題)
- E-6 強誘電体単結晶を用いた表面励振形超音波トランスジューサ(弾性表面波とデバイスII)
- 2-3 Si基板の異方性エッチングのZnO膜圧電共振子への応用(一般講演)
- 副電極との結合共振を用いた低次ハーモニック振動の抑圧
- J2 損失を考慮したモード結合理論に基づくIDTの等価回路(弾性表面波デバイス)
- LiNbO_3結晶を用いたLameモード圧電振動子
- 弾性波のエネルギー閉込め現象とその圧電デバイスへの応用
- 分極反転層を有するLiTaO_336°回転Y板におけるSHタイプ弾性表面波の温度特性の測定
- 屈曲波により形成されるエバネセント波を用いた近接センサの基礎的検討
- LiNbO_3ラーメモード振動子とその圧電トランスへの応用
- 拡散ビーム超音波による弾性表面波速度の測定
- PA4 重み付けコニカル形長距離集束超音波トランスジューサの試作(ポスタセッションA-概要講演・展示)
- コニカル形の放射面を用いたベッセルビームトランスジューサ
- 90゜移相屈曲振動板対からの一方向性強力超音波による粉体移送
- LiNbO_3の反転分域を利用したSAWコンボルバ
- 複素分枝によるエネルギー閉込めを利用した二重モード圧電フィルタ