レーザーアブレーション法による光機能性材料の作製
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概要
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導波路型Ti:サファイアレーザー用にレーザーアブレーション法を用いてTi:サファイア薄膜の作製を試みた。バルク結晶と同様の蛍光特性を持つ膜を作製できた。しかし、膜表面には1×10^7cm^<-2>程度の面密度で微粒子が付着しており、これは幅5μmの導波路の単位長さ当たり100個の微粒子数に相当し、微粒子の除去が重要であることが分かった。微粒子除去法として、高速回転ターゲットを用いた遠心分離の可能性を検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-06-16
著者
-
中田 芳樹
九州大学大学院システム情報科学研究科
-
中田 芳樹
阪大レーザー研
-
中田 芳樹
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
-
前田 三男
九州大学大学院システム情報科学研究科
-
岡田 龍雄
九州大学大学院システム情報科学研究科
-
前田 三男
九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門
-
中田 芳樹
大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター
-
岡田 龍雄
九州大学大学院 システム情報科学研究院
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