5. アブレーションプラズマ計測技術 : レーザー画像計測を中心として (<小特集>アブレーションプラズマのプロセス応用)

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概要

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• In applications of the laser ablation process to material processing, the behavior of particles generated into a background gas must be understood in order to control the laser ablation processes. Laser spectroscopic imaging techniques allow detailed investigation of the particle behavior. In this article, various diagnostics techniques based on spectroscopy for plume diagnostics, and particularly imaging techniques, are reviewed, and our results on the imaging diagnostics of particle behavior during pulsed-laser deposition and nano-particle synthesis processes using laser ablation in a background gas are presented and discussed.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2000-11-25

著者

• 岡田 龍雄

  九州大学大学院システム情報科学研究院

• 前田 三男

  久留米工業高等専門学校

• 前田 三男

  九州大学大学院システム情報科学研究科

• 岡田 龍雄

  九州大学

• 岡田 龍雄

  九大

• 岡田 龍雄

  九州大学大学院システム情報科学研究科

• 前田 三男

  久留米高等専門学校

• 前田 三男

  九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門

• Maeda M

  Department Of Applied Physics Faculty Of Engineering Tohoku University

• Maeda Masataka

  Musashi Institute Of Technology

• Maeda Masaki

  Ceramic Technology Department National Industrial Research Institute Of Nagoya

• 岡田 龍雄

  九州大学大学院 システム情報科学研究院

• 岡田 龍雄

  九州大学大学院 システム情報科学府・研究院

• 岡田 龍雄

  九州大学大学院 システム情報科学府

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