パルス電圧印加低温陽極酸化法による高性能アルミナ偏光膜の作製とそのバルク型偏光子への応用
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概要
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低温でアルミニウムを陽極酸化して得られる良好なアルミナ偏光膜を製作するために, 電圧と硫酸の濃度に着目し, その最適化を行った. 印加電圧を定電圧からパルス電圧に変更することにより, 冷却効率を高め, 膜のひび割れや表面粗さを改善することができた. また, 得られた高性能アルミナ偏光膜を, バルク型偏光子に応用した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-25
著者
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