多層誘電体内装銀中空ガラス導波路の製作 : 全液相法による試み
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概要
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誘電体内装中空導波路は, 内装誘電体を多層化することにより, 極めて低損失な伝送路が得られることが理論的に予測されている。最近, この多層誘電体内装導波路の試作が行われているが, その製作方法としては, 芯材上に多層膜, 構造強化層をスパッタリング及び電解メッキ法により形成するという外付け法が採用されている。しかしこの方法では多層膜形成のために複雑な工程が必要とされる。そこで, 本論文では, 石英キャピラリの内面に内装する全ての誘電体, 金属層を液相で成膜する, 多層誘電体内装導波路の新しい製作方法を提案し, その製作法について検討を行ったので報告する。
- 1997-03-06
著者
-
松浦 祐司
東北大学工学研究科
-
宮城 光信
仙台高等専門学校
-
宮城 光信
東北大学工学部
-
下村 剛弘
東北大学工学部
-
阿部 由起雄
東北大学大学院工学研究科
-
阿部 由起雄
東北大学工学部
-
阿部 由紀雄
日立電線(株)アドバンス技術研究所
-
阿部 由紀雄
日立電線(株)
-
宮城 光信
東北大学工学研究科
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