中空導波路に於ける内装誘電体膜厚の精密評価
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概要
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赤外レーザ光伝送用誘電体内装中空導波路の特性は内装される誘電体膜厚に依存しており、製作の際に目的に応じて正確な膜厚推定を行わなければならない。従来、製作された導波路の赤外域損失スペクトルに現れる干渉ピークを情報源にして膜厚推定を行ってきた。本論文では可視〜近赤外波長帯における誘電体内装中空導波路の損失スペクトルの解析を行い、膜厚が薄い場合にも正確な膜厚推定が可能となったことを示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
本郷 晃史
日立電線(株)アドバンスリサーチセンタ
-
宮城 光信
仙台高等専門学校
-
宮城 光信
東北大学工学部
-
下村 剛弘
東北大学工学部
-
本郷 晃史
日立電線アドバンスリサーチセンター
-
本郷 晃史
日立電線
-
宮城 光信
東北大学工学研究科
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