SiNリングコアをもつ積層マイクロリング共振器フィルタの中心波長の紫外線照射トリミング(光波ネットワーク・光アクセスに向けた光波デバイス,光集積回路,一般)

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概要

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積層マイクロリング共振器Add/Dropフィルタの中心波長を高精度に設定するために,本研究室ではTa_2O_5(30mol%)-SiO _2(n=. 1.784 @λ-1.55μm)を用いて製作したコアに紫外線を照射して中心波長をトリミングする技術を開発していた.しかし,そのトリミング量は:-0.65nmと小さく,製作誤差の補正には十分ではなかった.そこで新たな高屈折率導波路材料として,SiN(n=2.003@λ=1.55μm)に着目し,その屈折率の紫外線照射による変化を測定したところ, -1.3×10^<-2>きいことを発見した.そこでこのSiNをコア材料に用いてフィルタを製作して紫外線照射を行ったところ, -12.1nmという大きな中心波長シフトを確認した.また紫外線照射後の中心波長が1200時間以上にわたって安定であることを確認した.
社団法人電子情報通信学会の論文
2003-05-16

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