第22回国際故障解析シンポジウム(ISTFA'96)の参加報告
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概要
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1996年11月米国カルフォルニア州ロサンゼルス市で開催された第22回国際故障解析シンポジウム(ISTFA'96/The 22nd International Symposium for Testing and Failure Analysis)で発表された論文の概要を紹介し、最近の電子デバイスの故障解析の動向を知る一助としたい。LSIはよ機能の複雑化、高機能化、微細化が著しく進展し、製造工程や使用環境からの影響を受けやすくなり、故障の検出や解析に複雑な手法が必要になっている。本シンポジウムでは新しい解析手法、解析装置の他、事例報告も多く実務担当者に有益なものであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-14
著者
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