ポリスチレン薄膜NO_2感ガス素子の応答特性
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概要
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高速応答を示すNO_2感ガス素子はプラズマ重合によるポリスチレン薄膜とAu電極基板との接着と斜め方向蒸着法を用いたガス透過性電極の改善による。素子は透ガスAu電極とAu基板との間にプラズマ重合ポリスチレン薄膜が挟まれたサンドイッチ構造をもつ。NOx/N_2、2%(v/v)の混合ガスの素子を暴露すると、薄膜を通して流れるイオン電流は数秒で急速に変化し、可逆的応答を示す。Au基板から高分子薄膜の剥離を防ぐために、1MHzを用いたプラズマ重合中、基盤にDC15Vの電圧を印可している。
- 1995-11-17