カーボン真空蒸着膜薄膜のガス応答特性
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概要
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単一の炭素原子からなり構造の異なる物質として、ダイヤモンド、グラファイト及びフラーレンなどがある。その中で、真空蒸着で容易に薄膜化できるC_60を感ガス材料として用いた。センサの素子構造はガラス基板上にインターデジタル型AuあるいはPtをスパッタ蒸着した電極を使用した。電極上のC_60薄膜の膜厚は約540Åである。検出に用いたガスは大気環境に強く影響を与えるCO_2やNH_3その他のいくつかの有害ガスに対して、ガス暴露による電気抵抗の変化とその応答特性について調べた。その結果、水溶性で電離度が高く、また極性分子は高感度で応答性もよいが、トルエンやベンゼンなどの不溶のガス分子は殆ど応答しないことがわかった。
- 2002-11-06