スピンコート法によるポリマー多層膜ミラーの作製(有機材料・一般)
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概要
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選択的に波長を反射することのできる多層膜ミラーは、無機誘電体(Ti0_2やSiO_2など)を用いて、真空蒸着あるいはスパッタリングにより作製される。本報告では、2種の非晶質有機ポリマーを用い、真空環境を要さない、簡便なスピンコート法によって多層膜ミラーを作製した結果について述べる。ポリマーと溶媒の相溶性を考慮すると共に、溶液濃度の調整とスピナー回転数の調節によって、必要となるλ/4光学膜厚を得た。コーティングと溶媒の乾燥という単純な工程を経て、可視から近赤外波長域において、90%以上の高反射率ミラーの作製が可能であることがわかった。
- 2003-05-19
著者
-
藤原 隆
理化学研究所
-
梅垣 真祐
慶應義塾大学理工学研究科
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井上 梓
慶應義塾大学理工学部
-
井上 梓
九州大学先導物質化学研究所
-
小見門 利行
慶應義塾大学理工学部
-
藤原 隆
慶應義塾大学理工学部
-
井上 梓
慶應義塾大学フォトニクス・リサーチ・インスティテュート
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