両面発光型OLEDにおける透明電極スパッタダメージ発生機構の解析と抑制(機能性有機薄膜,一般)
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概要
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両面発光型OLEDは,上部透明電極として主にITOなどの透明導電酸化物のスパッタ膜が利用されている。この透明導電酸化物は一般的に成膜パワーの大きなスパッタ法などにより成膜するため,このスパッタ成膜時に有機層がダメージを受ける。そこで,本研究では,まずダメージの原因を調べるために透明電極成膜時に基板へ到達している荷電粒子を計測した。その結果Ar^+などの正の荷電粒子が基板に到達していることがわかった。次に,磁場によるプラズマシールドの効果について調べたところ,基板に到達する荷電粒子の量を1/3に減らせることがわかった。さらに,保護層としてBi薄膜を用いた両面発光型OLEDを作製・評価したところ,スパッタによる有機層へのダメージが抑制され,素子性能が向上した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-11-12
著者
-
市川 結
信州大学
-
市川 結
信州大学繊維学部機能高分子学科
-
谷口 彬雄
信州大学繊維学部
-
谷口 彬雄
信州大 繊維
-
谷口 彬雄
信州大学繊維学部機能高分子学科
-
小山 俊樹
信州大学繊維学部
-
継田 浩平
信州大学繊維学部
-
栗屋 豊
信州大学繊維学部
-
市川 結
信州大学繊維学部
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