低熱膨張フイルム光導波路を用いたOE-COF
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概要
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光導波路フイルム上で光素子と電気素子を高密度集積し高速に動作させるOE-COF技術の確立を目的に、低熱膨張フイルム光導波路の開発とAuSnはんだバンプによる光素子接続を検討した。光導波路フイルムの光学特性、バンプ接続の強度、光素子と導波路コアとの位置合わせ、ともに十分な特性の得られることが分かり、OE-COF技術の実現性を確認した。
- 2001-08-17
著者
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