マシンビジョンの最前線 : ものづくりの世界で
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概要
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マシンビジョンのものづくりへの応用について最近の発展状況と今後の可能性について、電子産業における主要テーマであるプリント板のはんだ付け検査とLSIウェハパターンの外観検査を例に報告する。これらの応用においては、検出性能の進展や新しい認識機能の開発など技術は確実に進歩している。LSIウェハ検査においては、最小検出欠陥の微細化と欠陥情報の爆発的増加が予想されている。膨大な欠陥情報から有効な情報を抽出するためには、いわゆる「メタ認識」の技術が今後必要になるであろう。また、この種の技術はマシンビジョンのフレキシビィティの実現にも有効であろう。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-12-12
著者
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