ZnS:TbF_3薄膜ELの膜質評価
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概要
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今回の研究では、ZnS:TbF_3発光層を電子顕微鏡観察、及び、X線回折し、蒸着膜形成過程の評価及び、発光中心TbF_3の膜質への影響を考察した。また、ドーピング母体として使用されるTbF_3の構造を調べ考察した。その結果、TEM像観察により、ZnS:TbF_3膜の膜成長を視覚的に確認し、これとX線回折から、Tbが膜質を劣化させていることが分かり白、また、TbF_3の構造を調べた結果TbF_3は斜方晶系結晶でYF_3型構造をしていることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-06-25
著者
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