非晶質シリコンを用いた光散乱型空間光変調素子
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概要
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光散乱型空間光変調素子(S LM)は、光利用率が高い、応答速度が速いなど、高輝度・大画面投射型ディスプレイに適した特徴を持つ。 しかし、従来のBSO単結晶を用いた素子は、感度および解像度が低い問題があった。今回、高感度のa-Si:H厚膜( 3 0μm) をECRプラズマCVD法により作製し、新しいSLMを試作評価した。 これにより、従来素子に比べて2倍以上の感度(1mW/cm^2)と高い解像度(50 lp/mm) を持つSLMが得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-20
著者
-
河北 真宏
NHK放送技術研究所テレビ方式
-
菊池 宏
NHK放送技術研究所
-
藤掛 英夫
NHK放送技術研究所
-
河北 真宏
Nhk放送技術研究所
-
滝沢 國治
成蹊大学工学部
-
滝沢 國治
NHK放送技術研究所
-
平野 善之
NHK放送技術研究所
-
藤井 孝憲
NHK放送技術研究所
-
横澤 美紀
NHK放送技術研究所
-
滝沢 國治
成蹊大学
-
平野 善之
Nhk 放送技研
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