異方性エッチングを用いた狭ピッチSi-V溝基板の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
関連論文
- C-3-65 スラブ導波路にアイランドを設けたAWG (II)
- C-3-64 スラブ導波路にアイランドを設けたAWG(I)
- C-3-23 非対称Y分岐導波路の製作
- MW2000-27 / OPE2000-27 無調芯光送受信モジュールの原理評価
- MW2000-27 / OPE2000-27 無調芯光送受信モジュールの原理評価
- C-3-40 無調芯光送受信モジュールの原理評価
- プラズマCVDによる石英系光導波路の製作
- 異方性エッチングを用いた狭ピッチSi-V溝基板の検討
- 波面整合によるY分岐導波路の低損失化設計