陽極酸化アルミナ膜の光学特性の解析 : 微粒子分散型モデル
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概要
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低温陽極酸化アルミナ(Al_2O_3)膜は, アルミニウム(Al)が膜の表面に対して垂直に柱状に残留する。これまで, 無数の針状のAlが膜中に配列されているという理論モデルを考え, その光学特性を解析してきた。しかしこのモデルでは, 実験で得られた膜の光学特性を十分に説明できない。そこで本報告では, 新しい理論モデルを提案し, それから得られる光学特性が実験結果を良く説明できることを示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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