ダイヤモンドを含む積層構造中のSAWの特性解析
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概要
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ダイヤモンドは代表的な高音速材料であり,良好な温度特性が期待されるSiO_2/ZnO/ダイヤモンド/Si構造についての検討も行われている.本稿では,1次元有限要素法を用いて,こうしたダイヤモンド含む積層構造中のSAWの諸特性を解析し,その結果を等値線マップの形で示すとともに,SAW特性の最適化について検討を行う.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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