金属グレーティングに斜入射する SAW 反射特性の有限要素法解析
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概要
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弾性表面波(SAW)デバイスの基本的な構成要素である金属グレーティングに,SAWが斜入射する場合の反射特性を精度良く求めることが可能な方法を開発することを目的として,有限要素法(FEM)に基づく解析法の定式化を行っている.FEMは異方性や圧電性を有する基板に対する適用が容易であり,電気的摂動効果,弾性的摂動効果,反射体端部における非放射バルク波によるエネルギー蓄積効果をすべて考慮した解析を行うことが可能である.ここでは,FEMにより算出されたストップバンドに関する情報から,反射器の反射体1本当りの反射量とストップバンドの中心周波数のシフト量を算出している.具体的に,Bi_<12>GeO_<20>基板,STカット水晶基板上の金属グレーティングについてこれらの諸量を評価し,本解析手法の妥当性,有用性を示している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-02-25
著者
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