Li_2B_4O_7上の周期的金属グレーティングを伝搬する縦波型Leaky SAWの特性

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概要

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オイラー角(0゜,47.3゜,90゜)[(011)面]の四ほう酸リチウム(Li_2B_4O_7)基板における縦波型Leaky SAWは、位相速度が約6700m/sと非常に高速であるだけでなく、その他の伝搬特性も良好であるため高周波用SAW伝搬モードとして(Al)などの金属ストリップから成るIDTや反射器で構成されている。そのため、それらを伝搬する縦波型Leaky SAWの特性を理解することは、実用上、重要と考えられる。そこで、本報告では、LBO基板上の周期的金属ストリップグレーティングを伝搬する縦波型Leaky SAWの分散特性を理論的および実験的に検討した結果について述べる。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27

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