IDT等価回路を用いた弾性表面波速度の測定法に関する検討
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概要
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SAWデバイスの特性を左右する圧電体の材料定数はSAW速度から決定することが出来るため、SAW速度の高精度測定法が求められている。精度の高い測定法の一つとして平林の測定法が知られているが、測定用デバイスが必要となる。本報告では、1対のIDT位相特性から直接速度を求める方法を検討した。そして、この方法の誤差要因とその補整法を検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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