改良型アダプティブ空間平均法による高分解能欠陥診断装置
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概要
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近年,微小光学部品の品質管理,レーザ手術時の切削量モニター等,高分解能かつ非破壊計測器を必要とする分野の進歩が目覚ましい.そこで私達は対象物の微細な内部構造を高分解能かつ非破壊で測定するレーザマイクロビジョンの開発を行っている.本装置は物体に照射する光の波長を1.5μm〜1.6μmの範囲でステップ状に変化させ,各ステップにおいて反射光の振幅と位相を測定する.その後受信データに信号処理を施し物体内部像再構成を行なう.波長掃引範囲から決まるFourie変換分解能は12μmとなる.これまで私達は,信号処理法としてまずNeural Network法を,その後より高分解能化を目指してMUSIC法と動的計画法との組合せを行なった.本報告ではより高い推定精度及び分解能向上を目指し,MUSIC法とアダプティブ空間平均法の組合せを提案し,その有効性を数値計算によって示す.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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