高速化 Kernel MUSIC法

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概要

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• 光部品や半導体分野では高分解能かつ非破壊計測器か必要とされる.ATRでは対象物の微細な内部構造を高分解能かつ非破壊で測定するレーザマイク□ビジョンの開発を行なっている.本装置は物体に照射する光の波長を1.5μm~1.6μmの範囲でM段階ステップ状に変化させ,各ステップにおいて反射光の振幅と位相を測定する.その後受信データに信号処理を施し物体内部の像再構成を行なう.波長掃引範囲から決まるFourier変換分解能は12μmとなる.これまで私達は,信号処理法としてまずMUSIC法を,その後より高分解能・高速化を目指しKerenel MUSIC法を提案した.本報告ではさらなる高速化を図ったFast Kernel MUSIC法を提案し,その有効性を数値計算によって示す.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1996-03-11

著者

• 多賀 史江

  ATR光電波通信研究所

• 下田平 寛

  ATR光電波通信研究所

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