パルス電圧陽極酸化法によるアルミナ膜の特性改善
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概要
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低温で陽極酸化されたアルミナ膜にはアルミニウムが膜の表面に対して垂直な方向に柱状に残留しており、その特性を利用し、アルミナ膜の両面をガラスプリズムで挟んだバルク型の偏光子が提案されている(図1参照)。従来の低温陽極酸化法ではアルミナ膜のひび割れや表面粗さは避けられず、偏光子の大口径化や低挿入損失化は困難であった。本報告では、陽極酸化する際の印加電圧をパルス型にすることにより冷却効率を高め、これらの点を改善した結果について述べている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
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