2. DWDM実用化を支える光デバイス : 2-3 WDM用半導体光源 (<小特集>フォトニックネットワーク用光デバイス)
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概要
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波長多重(WDM)光通信に用いられる変調器集積化光源を, 広い波長域にわたって, かつ1ウェーハ上に一括して作製する技術について紹介する. この技術は波長制御されたWDM光源を低コストで作製するために開発されたもので, その中で用いられている要素技術として, 電子ビーム露光法による回折格子周期の精密制御技術, 選択結晶成長によるウェーハ面内での半導体組成制御技術を中心に紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-25
著者
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