SOI(Si on Insulator)の現状と課題

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-07-25

著者

• 米原 隆夫

  キヤノン株式会社

• 米原 隆夫

  キャノン株式会社デバイス開発センター

• 米原 隆夫

  キャノン株式会社、eltranプロジェクト

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