6. 夢のメモリデバイス 6-1 走査型プローブ顕微鏡(SPM)応用メモリ (<特集>大規模データ処理を支えるエレクトロニクス : マルチメディア世界の到来に向けて)
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概要
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現在のディスクメモリ技術の延長線上では実現できない記録密度を達成するため,各種の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いた記録技術が提案されている.SPMは先鋭な探針で試料表面を走査し,表面の電子状態密度,相互作用力,磁界強度などの特性を,原子〜ナノメータレベルの分解能で検出するものである.本稿では,SPMの中で原子分解能を有する走査トンネル顕微鏡や,原子間力顕微鏡などを用いた, G〜T bit/cm^2レベルの超高密度記録技術の現状や基本的な課題について概説する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-25
著者
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