薄膜インダクタとパワー半導体を集積したモノリシックDC/DCコンバータ
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概要
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筆者らは、バッテリーを主電源とする携帯用電子機器に適した超小型DC/DCコンバータとして、薄膜インダクタとMOSFETおよび制御回路を含むパワーICを同一のSi基板上に集積化したモノリシックDC/DCコンバータの開発を行っている。本稿では、モノリシックDC/DCコンバータの試作および電気的特性の評価結果を報告する。試作したモノリシックDC/DCコンバータは、チップサイズ4mm×5mmのパワーIC上に4mm×4mmの薄膜インダクタを積層して作製した。モノリシックDC/DCコンバータを用いた降圧チョッパモジュールはスイッチング周波数3MHzで安定に動作し、電力密度5.6W/cc、最大効率83.3%を達成した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-11-18
著者
-
菅原 聡
信州大学大学院総合工学系研究科:富士電機デバイステクノロジー(株)
-
片山 靖
富士電機アドバンストテクノロジー
-
黒木 一男
富士電機総合研究所
-
黒木 一男
富士電機株式会社
-
中澤 治雄
富士電機総研
-
片山 靖
富士電機総合研究所
-
菅原 聡
富士電機総合研究所
-
中澤 治雄
富士電機総合研究所
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