TeOxベース材料を用いた熱記録フォトリソグラフィー技術(光記録及び一般)
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概要
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我々はTeOxベースの熱記録型フォトレジストを開発し、新開発の有機熱隔離層により、その記録解像度を飛躍的に高めた。これにより、一層あたりの記録容量25GBを持つBD-ROMの原盤記録を青色半導体レーザによる露光により可能とした。原盤から作成したディスクの再生ジッターは全面にわたって6.0%未満と実用的な値であった。さらに、開発したレジストの記録現像メカニズムを解析した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-02-25
著者
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伊藤 英一
松下電器産業株式会社メディア制御システム開発センター
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富山 盛央
松下電器産業株式会社メディア制御システム開発センター
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阿部 伸也
松下電器産業株式会社メディア制御システム開発センター
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大野 鋭二
松下電器産業株式会社メディア制御システム開発センター
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留河 優子
松下電器産業株式会社 メディア制御システム開発センター
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大野 鋭二
松下電器産業
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留河 優子
松下電器産業株式会社メディア制御システム開発センター
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伊藤 英一
松下電器産業株式会社 メディア制御システム開発センター
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阿部 伸也
松下電器産業株式会社 メディア制御システム開発センター
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富山 盛央
松下電器産業株式会社 メディア制御システム開発センター
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