熱型マイクロセンサ : 超小型熱分析計とトランジスタサーミスタ

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
従来の熱分析装置の3つの構成要素(電気炉、試料ホルダー、温度センサ)から成るセンシング部を半導体のマイクロマシニング技術を用いて集積化し、新しいタイプの超小型熱分析計を作成した。水試料を用いて、熱分析センサの基本的な特性を測定したこと、加熱曲線をハード的に微分して加熱速度曲線を得るためのサンプルホールド回路と差動アンプとを組み合わせた自動加熱速度測定システムを提案し、その基本特性を求めたこと、また、この超小型熱分析計は、基準試料なしに、極微量の試料の分析を極めて短時間に測定できることなどを実証した。更に、超小型熱分析計のセンシング部の基板の絶対温度の計測用に用いることができるバイポーラトランジスタのコレクタ抵抗をサーミスタとして使用するトランジスタサーミスタを提案し、可変B定数サーミスタとなることを実証した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-03-05

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク