リアルタイム法E-Oプロービング
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概要
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我々は、非接触・非侵襲の特長を生かした新しいIC内部の高速電気信号計測法として、CW光源と高速光検出器を用いたリアルタイム法E-Oプロービングの研究を進めている。本倫文では、測定感度を向上させるための検討とその結果について述べる。ZnTe結晶のE-Oプローブを用いて半波長電圧3.6kVを得た。光源に波長780nm出力30mWの低イノズLDを、光検出系にpin PDと低ノイズ広帯域アンプを用いて、周波数帯域幅600MHzを得た。この時の測定感度の下限はほぼショットノイズで制限されていた。デジタルオシロスコープを用いて波形を測定し、周波数帯域幅480MHz、検出可能量小電圧23mV(加算積算700回)を得ることができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-26
著者
-
若森 和彦
浜松ホトニクス株式会社
-
高橋 宏典
浜松ホトニクス(株)中央研究所
-
高橋 宏典
浜松ホトニクス株式会社
-
青島 紳一郎
浜松ホトニクス(株)中央研究所
-
土屋 裕
浜松ホトニクス(株)中央研究所
-
平野 伊助
浜松ホトニクス
-
若森 和彦
浜松ホトニクス(株)
-
土屋 裕
浜松ホトニクス
-
Tsuchiya Y
Central Research Laboratory Hamamatsu Photonics K.k.
-
Tsuchiya Yutaka
Department Of Pediatrics Keio University School Of Medicine
-
青島 紳一郎
浜松ホトニクス
-
高橋 宏典
浜松ホトニクス
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