溶液処理Si表面におけるIPAの吸着
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概要
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インプロヒルアルコール(IPA)中における溶液処理Si表面への有機物の吸着について、赤外分光法および昇温脱離分光法を用いて観測した。H終端処理表面の方が溶液酸化表面に比べてIPAが吸着し易いことが明らかになった。また、H終端Si(100)面では、IPAが表面SiHおよびSiH_2と反応してC_3H_7O-Siを形成することがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-04-25
著者
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