複合型検査システムによる傷・欠陥の検出と傷種の識別
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概要
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光源にレーザスポット光を用い、光回折法と光切断法を組み合わせた複合型表面傷検査システムを試作した。微小な傷や傷種の識別は光回折法で、大きな傷・欠陥は光切断法で検出することにより傷の検出範囲を広げることができた。さらに、傷種の詳細な分離識別を行うため、回折光の二次元分布を新たに試作した多分割面検出センサを用いて計測し、計測データを画像処理することにより、引っかき傷、擦り傷、線状傷等の傷種の識別を可能にした。本システムを従来法では傷検査が困難であった圧延条痕を有する圧延板に適用し、実験によりその有効性を明らかにした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-29
著者
-
今出 政明
工業技術院中国工業技術研究所
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岡田 三郎
産総研中国センター
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岡田 三郎
中国工業技術研究所
-
宮内 秀和
産総研中国センター
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宮内 秀和
中国工業技術研究所
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今出 政明
中国工業技術研究所
-
高畠 一哉
工業技術院中国工業技術研究所
-
高畠 一哉
中国工業技術試験所
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