衝突ESDによるインパルス電磁界の発生(その1)
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概要
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金属物体間における接近・衝突を伴うESDの発生は、離れた所にある最新型の電子システムに対して、直接ESDよりもはるかに強い電磁妨害作用(EMI)を及ぼす場合がある。この衝突ESD現象の電磁気的な振る舞いに関しては未だに不明瞭な事柄が多い。本研究の目的はこの現象について実験物理的な観点から解析を行なう事により、電子システム(高速ディジタル回路)にとって脅威となるインパルス状電磁界の基本的な性質(放射、伝搬、侵入メカニズム)及びこれに関連する諸条件を明らかにする事である。今回(その1)は特に衝突ESD発生前後の静電・運動・衝突プロセスに関し新たな知見が得られたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-17
著者
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