MHz帯超音波圧電センサアレイにおける2つの試み
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概要
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微小な圧電セラミック素子を密配列したMHz帯超音波圧電センサアレイ2種を試作した。一つは開口大きさ0.435mm×0.435mmの素子を64個配列したリニアアレイを2つ用いてT字形に配列したものであり、もう一つは開口大きさ0.4mm×8mmの素子を128個円形に配列したアレイである。その設計構造及び実装方法ならびに試作品の基本性能評価結果について述べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-05-15
著者
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