金属膜の影響を考慮した弾性表面波回折の近似解析
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概要
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弾性表面波素子における表面波回折の効果は、従来、表面波が基板の自由表面を伝搬するものとして解析されている。本報告では、任意形状の金属膜による表面波速度低下効果を含めた回折の近似解析法について述べる。この解析法の近似解は、金属膜のある基板表面の場合と自由表面の場合のangular spectrum of wavesの線形和である。一様幅の△V, V導波路の数値計算結果は、スカラーポテンシャルモデルの厳密解とよく一致する。解析の応用例として、ビーム圧縮用薄膜レンズを解析した結果を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-22
著者
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