金属ストリップグレーティングによる弾性表面波からバルク波へのモード変換
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概要
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グレーティングに弾性表面波が入射するとバルク波ヘのモード変換が生ずる。本報告では,金属ストリップに表面波を入射させた時の電界短絡効果と質量付加効果によって生ずるモード変換を摂動法によって解析した。そして,数値計算により両摂動の重畳関係が基板のカット角,ストリップの膜厚,幅,電気的条件の組み合わせに依存していることを示した。また,LiNb03基板を用いた実験結果は理論値と良く一致しており,この解析法の妥当性を示している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-02-28
著者
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