YカットLiNbO_3基板上のAuストリップグレーティングを伝搬するラブ波型弾性表面波の解析

概要

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YカットLiNbO_3基板上のAuストリップグレーティングを伝搬するラブ波型弾性表面波(LoS)を理論的に検討した結果を述べる。まず, 周期的な金属ストリップグレーティング中を伝搬する弾性表面波 (レイリー波型弾性表面波 (RS) と擬似弾性表面波 (PS) も含む) の解析法を詳細に述べる。この解析法では, フロケの定理に基づいて弾性表面波を空間高調波の和で表している。ストリップ内では, 各空間高調波の変位を厚み方向に展開したべき級数で表している。各高調波の振幅は, ストリップの電気摂動効果と弾性摂動効果を考慮した境界条件から求められる。次に, この方法を用いて分散特性を数値計算し, LoS と RS あるいは PS 間のモード結合について検討している。また, ラブ波型弾性表面波のストップバンド端周波数と膜厚の関係も求めている。ストップバンド幅はストリップの電気的条件に大きく依存する。短絡ストリップ列のストップバンド幅の計算結果は, 他で報告した実験値と比較的よく一致している。
社団法人日本音響学会の論文
1996-09-01