3次元FEMによるAT板水晶振動子のスプリアス振動解析
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概要
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汎用FEMにより方形AT板で厚みすべり振動とその近傍にあるスプリアス振動の共振周波数及び振動モードを計算した. 周波数は1.02〜1.04MHz, 水晶片寸法は縦27.004mm, 横16.2〜17.0mm, 厚さ1.65mmである. 水晶片は20節点6面体要素を使って6000要素に分割した. 共振周波数の計算結果は, 古賀の実験で確認されているスプリアス振動をほぼ捉えていた. また, その存在が実験ではまだ確認されていないスプリアス振動も多数捉えていた. 計算の予測精度は0.3%以内である. 計算時間は, 一つの水晶片寸法で約30時間かかる. 計算した31個のスプリアス振動のうち, 22個の振動モードを特定した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-25
著者
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