CoCrPt系垂直媒体の初期成長層の低減と垂直磁気異方性
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概要
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TiCr, CoCr, Ruの各シード層上に作製したCoCrPt系垂直磁気記録媒体を用いて, シード層による初期成長層の低減の効果とその課題について検討した。初期層では垂直磁気異方性が大きく低下しており, この層の厚みはTiCrシード層を用いた媒体では10〜15nmであるが, CoCrあるいはRuシード層を用いた媒体では1〜6nmに低減されることがわかった. 構造解析の結果, 初期成長層にはfcc層が相対的に多く存在していること, また, CoCrあるいはRuシード層により初期成長層が低減された場合でも, 膜中に多くの積層欠陥が残存することが明らかとなった。一方, 初期成長層を低減した媒体の粒間相互作用は増加しており, シード層を用いたエピタキシャル成長の促進による初期成長層の低減が, 熱平衡に起因するCrの粒界偏析を抑制してしまうことを示唆している.
- 2001-05-31
著者
-
村岡 裕明
東北大学電気通信研究所
-
島津 武仁
東北大学電気通信研究所
-
中村 慶久
東北大学電気通信研究所
-
上住 洋之
富士電機株式会社電子カンパニー
-
寺川 潤
東北大学電気通信研究所
-
上住 洋之
富士電機株式会社
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