Co/Ptスパッタ人工格子膜の作製条件と磁気特性

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概要

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Co/Pt人工格子膜をArスパッタ法で作製し、Arガス圧依存性、膜厚依存性等を調べた。20mTorr膜においては大きな保磁力が得られたが、磁気光学特性は低く実用には向かないことがわかった。10mTorr膜でtc_o=3〜5Å、tp_t=10Åの膜が光磁気記録材料として最も有望であることがわかった。θ_K, H_Cの増大を目的として、NdまたはPrを不純物としてCo層に添加したが、Ndの添加によりθ_K, H_cは減少した。しかし、780 nmの値で規格化したθ_Kは、短波長においてNdを添加した方が大きくなった。このことは、NdまたはPrを添加したことによって減少した磁気モーメントを補償することよって、θ_Kを増大することができることを示唆している。
1996-03-01

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