ハロゲン化金属蒸気下における薄膜の挙動
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概要
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各種薄膜について高温度下ハロゲン化金属蒸気との反応について実験的に検討した。その結果(1)UV照射することで、成膜性を確認できる。(2)窒化膜の場合には石英との接合が強固で、窒化珪素膜は特に強固に接合している。(3)膜厚が厚い場合には、膜にファインクラックが現れる(4)酸化アルミ膜の場合には結晶面に多数の微結晶が発生する、ことなどが判明した。以上の結果から、窒化アルミ膜、窒化珪素膜において、膜厚が薄い場合には高温ハロゲン化金属蒸気に対する保護膜としての可能性が得られた。
- 2000-09-14
著者
-
井上 昭浩
福井工業高等専門学校
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堀井 直宏
福井工業高等専門学校
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堀井 直宏
福井工業高等専門学校 電子情報工学科
-
モハマッド フザイリー
福井工業高等専門学校電子情報工学科
-
井上 昭浩
福井工高専
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