近接場光学PSTMイメージングシミュレーション : 誘電体プローブと金属コーティング開口プローブとの比較
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概要
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本論文では,導波モード分離型積分方程式に基づく境界要素法を用いた2次元フォトン走査型トンネル顕微鏡(PSTM)シミュレーションコードを作製し,プローブが誘電体プローブ,金属コーティング開口プローブ,及び観測物体が複数の誘電体,金属の場合のイメージングシミュレーションを行った.シミュレーションでは.入射TE波(s偏光)のCollectionモードプローブ内導波モードの透過係数,入射TE基本モードIlluminationモード反射係数を求め,プローブ走査を行いそれぞれのモードでの出力像と観測物体の関係を調べた.その結果,金属コーティング開口プローブを用いると,出力像コントラストは減少し,干渉パターンの影響は大きくなるが,誘電体プローブの場合に比べ出力像におけるイメージング特性が改善できることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-03-01
著者
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