TOF高感度温度センサの作製と酵素反応熱検出への応用
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概要
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生体化学の分野へ電子デバイス技術の導入が行われるようになり, 各種のバイオセンサが開発されている.遷移金属酸化物薄膜TOF(Transition Metal Oxide Thin Film)は高感度の温度センサであり, 酵素反応による熱型代謝物センサとして活用できる.現在, 酵素センサとして実用されているサーミスタ薄膜は, スパッタ法により作製されているが, この方法はターゲットの作製に長時間を要し, またターゲットの組成により薄膜の組成が大きく影響を受けるなどの欠点がある.真空蒸着によるTOFの作製は金属酸化物の融点が高いことと, 金属酸化物の蒸着量の制御が困難なため, これまでほとんど検討されていなかった.筆者らは金属酸化物に比べて融点の低い遷移金属を真空蒸着した積層金属膜を空気中でアニーリング処理を行ってTOFに転換する方法を開発した.TOFは顕著な温度依存性を有し, 微小な温度変化を検知する機能をもつ.ここではTOFの作製とその応用として代謝物である尿素及びβ-D-グルコースの酵素反応による微少な発熱を利用して代謝物生成の有無を検出するシステムを構成してTOFの有用性を検討したので報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-25
著者
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