[招待論文]櫛歯アクチュエータを用いた80チャネルMEMS光スイッチ

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概要

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• 2軸駆動櫛歯電極型マイクロミラーアレイを用いた低駆動電圧の80ch 3次元MEMS光スイッチを開発した.マイクロミラーには独自のV形状トーションバーを採用し,櫛歯電極の横ぶれによる接触を抑止することで,60V印加時の回転角5度を達成した.ルーフトップ型折り返しミラーを用いた光学系による小型・低損失化と,デジタルノッチフィルタおよびブロック分割制御を用いた高速制御により,挿入損失5dB以下,スイッチング速度1msecが得られた.

• 2003-04-02

著者

• 佐脇 一平

  (株)富士通研究所

• 佐脇 一平

  (株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所メディアデバイス研究部

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