佐脇 一平 | (株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所メディアデバイス研究部

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概要

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関連著者

• 佐脇 一平

  (株)富士通研究所

• 佐脇 一平

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著作論文

• [招待論文]櫛歯アクチュエータを用いた80チャネルMEMS光スイッチ
• 櫛歯駆動型3次元MEMS光スイッチ

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