佐脇 一平 | (株)富士通研究所

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概要

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• 佐脇 一平

  (株)富士通研究所

• 佐脇 一平

  (株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所メディアデバイス研究部

• 上田 知史

  (株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所

• 上田 知史

  富士通株式会社

著作論文

• KC-2-8 高密度光ディスクメモリ用MEMSトラッキングミラー
• MEMSミラーデバイス(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
• C-3-25 3 次元型光スイッチ用二軸櫛歯駆動型 MEMS ミラーアレイ
• [招待論文]櫛歯アクチュエータを用いた80チャネルMEMS光スイッチ
• 櫛歯駆動型3次元MEMS光スイッチ

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