高Bsとρを有する(Fe, Co)-酸化物系膜の軟磁気特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A study was made of the structure, composition, and properties of (Fe-Co)-M-O(M=Al, Zr, Mg) based films prepared by rf magnetron reactive sputtering in an atmosphere of O_2+Ar. Soft magnetic films with both a high saturation induction (Bs > 20 kG) and electrical resistivity (ρ > 100 μΩcm) are obtained in (Fe_<1-x>Co_x)_Y(M-O)_<100-Y>(X=0. 1, 0. 2 ; Y=80-90 ; M=Al, Zr) films, where the grain is around 20 nm in diameter and strongly faces (110) crystal direction. They exhibit not only high Bs nad ρ, but also a moderate magnitude of anisotropy field (Hk=10-20 Oe) . It follows that these films demonstrate an excellent frequency response of permeability.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2000-04-15
著者
-
増本 健
電気磁気材料研究所
-
増本 健
(財)電気磁気材料研究所
-
大沼 繁弘
(財)電気磁気材料研究所
-
小林 伸聖
(財)電気磁気材料研究所
-
大沼 繁弘
財団法人電気磁気材料研究所
-
大沼 繁弘
財団法人 電気磁気材料研究所
-
李 希宰
(財)電気磁気材料研究所
-
藤森 啓安
東北大学・金研
-
小林 伸聖
財団法人 電気磁気材料研究所
関連論文
- イオン照射したFePtグラニュラー薄膜の電子線トモグラフィー観察
- Fe/Si/Fe三層膜の層間結合
- 光磁気記録磁界変調用磁性薄膜マイクロコイル : 磁気光学・光磁気記録
- 光磁気記録磁界変調用薄膜マイクロコイル
- F-1326 光磁気記録磁界変調用薄膜マイクロコイルの開発(S49-2&S48 マイクロエネルギー(2)/精密機器マイクロメカトロニクス)(S49 マイクロエネルギー)
- 光磁気記録磁界変調用薄膜マイクロコイル
- 高Bsを示すFeCo-O膜の軟磁気特性と構造
- 最大磁化を示す強磁性準結晶
- ナノグラニュラTMR薄膜を用いた次世代磁気センサGIGSの耐熱性向上
- FeCo-AlF系ナノグラニュラー薄膜のTMRと耐熱性の向上
- 複合多層構造磁性体を用いたマイクロ電源用マイクロインダクタ(磁気応用)
- 複合多層構造磁性体を用いたマイクロ電源用マイクロインダクタ
- マイクロ電源用薄膜磁心マイクロインダクタ
- マイクロ電源用マイクロインダクタ
- グラニュラー磁性膜の磁気光学効果による評価
- ナノ結晶Fe-M-B(m=Zr, Nb)合金の誘導磁気異方性
- 次世代機能材料としてのアモルファス金属の展開 (特集 世紀をつなぐ--金属の今とこれから(2)) -- (特殊な形態と機能のいまとこれから)
- サブミクロン反平行結合膜のスピン反転挙動 : 磁気抵抗効果・交換結合
- サブミクロン反平行結合膜のスピン反転挙動
- 記録媒体としてのFePt基ナノグラニュラー薄膜の検討
- Fe-Pt超薄膜の異常ホール効果
- IBS法によって作製したFePt規則合金グラニュラー薄膜の微細構造と磁気特性
- Fe-Pt系合金超薄膜の異常ホール効果
- IBS法により作製したハーフメタルFe_3O_4薄膜の構造と磁気特性
- CoNbZr非晶質磁性膜の高周波損失に及ぼす磁歪の影響
- 新しい非晶質軟磁性合金の開発とその応用(ニュ-スから) (磁気と化学)
- 5p-W-12 遠心急冷法によるFeCo系非晶質合金の磁化過程
- 大学における研究と特許 (特集 学術研究と知的財産)
- ナノテクノロジー : ナノ組織制御による材料機能性の向上
- 本多記念会創立50周年に当たって
- ビジョン 私の歩んだ道と若者へのメッセージ 私が歩んだ学者への道
- ナノ結晶Fe-Zr-Nb-B合金の軟磁気特性
- ナノ結晶軟磁性Fe-Zr-Nb-B合金の低鉄損特性
- ナノ結晶Fe-TM-Zr-B(TM=Ti, V, Cr, Mn)合金の軟磁気特性
- 高速超塑性を利用した金属ガラスの粉末固化・鍛造加工技術の開発とゴルフクラブへの応用
- ナノ結晶Fe-Nb-B(-P-Cu)合金の微細構造と軟磁気特性(ソフト磁性材料)
- ナノ結晶Fe-Nb-B(-P-Cu)合金の微細構造と軟磁気特性
- 非晶質粉末の固化成形により作製したナノ結晶Fe-Rich Fe-Nb-Nd-B磁石 (ハード材料)
- 非晶質粉末の固化成形により作製したナノ結晶Fe-rich Fe-Nb-Nd-B磁石
- 126 マイクロ DC・DC コンバータ用高 Q CoFeSiB/SiO_2 複合多層膜
- 高Q値を示すCoFeSiB/SiO_2複合多層膜磁心の磁気特性
- 薄膜インダクタを用いたLCフィルタとマイクロ電源
- 142 マイクロDC/DCコンバータ用インダクタの素子構成(マイクロエネルギー/精密機器マイクロメカトロニクス)
- P0013(1) アモルファス電磁材料の進展 : 省エネルギー関連技術として([P0013]新エネルギー維新への新エネ・省エネ技術の現状・将来像(3),特別企画)
- GIGSマイクロ磁気センサ
- ナノグラニュラー・イン・ギャップ磁界センサ : GIGS
- マイクロインダクタ用連続軟磁性体シート
- 軟磁性薄膜材料の電磁ノイズ吸収特性における磁気損失の効果
- ナノグラニュラー磁性薄膜のGHz帯における電磁波ノイズ抑制効果
- ナノグラニュラー・イン・ギャップ(GIG)磁気センサ
- 21世紀の材料研究
- アモルファス合金扁平粉末の調製とその複合材料の磁気特性
- ナノグラニュラー磁性薄膜とその応用 : 高周波軟磁気特性とトンネル型MR特性(ソフト及びハード磁性材料の新展開)
- ナノグラニュラーインギャップ(GIG)膜による磁気抵抗効果の高感度化 : 高感度マイクロ磁気センサへの応用の可能性
- ナノグラニュラー磁性薄膜の動向と展望
- 金属ガラス粉末の固化成形および鍛造成形と工業化
- ナノグラニュラー(Co_Fe_)-Al-O/SiO_2多層膜の軟磁気特性
- 金属-フッ化物系ナノグラニュラー膜のトンネル磁気抵抗効果とGIG化による磁界感度の改善
- (Fe-Co)-Mg-Fナノグラニュラー膜のトンネル型磁気抵抗効果とGIG化による磁界感度改善
- フッ素系ナノグラニュラー膜の磁気特性
- ナノグラニュラーCoFeAlO/SiO_2多層膜(λ=0)の軟磁気特性
- 金属-フッ化物系ナノグラニュラー膜のトンネル磁気抵抗効果とGIG化による磁界感度の改善
- マイクロDC/DCコンバータ用インダクタのQ値と素子構成
- 高Bsとρを有する(Fe, Co)-酸化物系膜の軟磁気特性
- 金属-フッ化物系ナノグラニュラー薄膜のトンネル型巨大磁気抵抗効果
- 2T以上のBsと100μΩcm以上のρを併せ持つ(Fe, Co)-酸化物系軟磁性膜
- 金属-非金属ナノグラニュラー膜のトンネル型磁気抵抗効果と磁界感度改善
- 日本の科学技術と核融合 : 核融合研究における課題
- 金属-フッ化物系ナノグラニュラー膜のトンネル型巨大磁気抵抗効果
- 高Bsとρを有する(Fe,Co)-酸化物系膜の軟磁気特性
- 高電気抵抗軟磁性膜を用いた高周波インダクタ
- 金属-非金属ナノグラニュラー膜のMR特性の磁界感度の向上
- 金属ガラスを用いた新非磁性エリンバー材料の開発
- 薄膜3段LCバンドパスフィルタの特性
- 薄膜インダクタを用いたLCフィルタとマイクロ電源
- 薄膜3段LCバンドパスフィルタの特性
- 高電気抵抗軟磁性膜を用いた高周波インダクタ
- 金属-非金属ナノグラニュラー膜のMR磁界感度の向上
- 多層膜化した高電気抵抗軟磁性膜を用いた薄膜インダクタ
- クローズドP/Mプロセスの開発と高比強度非平衡材料の創製
- アモルファス金属研究の流れ
- 薄膜インダクタの性能指数と薄膜磁心の損失係数との相関
- 金属-非金属ナノグラニュラー膜の構造と巨大磁気抵抗効果
- 高いB_sを有するCo-Fe-Al-O膜の軟磁気特性
- アモルファス合金粉末の固化成形
- インバー合金の各種精密制御機器への応用
- 高いBsを有するCo-Fe-Al-O膜の軟磁気特性
- タンデム成膜法による金属-非金属ナノグラニュラー膜の作製と巨大磁気抵抗効果
- 薄膜インダクタの高効率化
- 高電気抵抗軟磁性膜を用いた微細形状磁心の磁気特性
- 薄膜インダクタの性能向上と磁性薄膜特性の関係
- Bi系酸化物超伝導テープ材の2223相の生成におけるAgシースの役割
- 金属-フッ化物系ナノグラニュラーTMR薄膜のナノ構造解析
- 広帯域薄膜EMIフィルタ
- TMR型磁気センサGIGSのMR特性におよぼすグラニュラー薄膜組成の影響
- 高感度磁気センサーGIGS^【○!R】に用いられるFeCo-MgFナノグラニュラーTMR膜の加熱による構造変化
- (Fe,Co)-X-O (X=Y, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy)系ナノグラニュラー膜の巨大磁気抵抗効果 (多層膜・人工格子・グラニューラー)
- (Fe, Co)-X-O(X=Y, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy)系グラニュラー膜の巨大磁気抵抗効果
- 高電気抵抗軟磁性薄膜の開発の現状
- Co基高電気抵抗軟磁性膜