レーザーによる微小寸法測定 (1986年春季講演会発表)
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概要
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A microdimensional measuring instrument by use of laser has been put into practical use as a full automatic on-line measuring instrument for production line. This instrument makes highly accurate measurements utilizing the characteristic of good focusability of laser beam and the light scanning action by an acousto-optic device. The measurements are made by the electrical control, and the analytical arithmetics are performed on the reflected light paterns. Therefore, the high-speed measurements can be made with high accuracy. This article introduces an example in which the measurement range of l to 40 μm and the resolution of 0.03 μm have been realized on a measurement of precisely finished microparts.
- 社団法人日本時計学会の論文
- 1986-12-20
著者
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